广州增芯科技取得沉积工艺设备平台传送腔室专利，防止向缓冲腔室传片时晶圆破片

金融界2025年6月10日消息，国家知识产权局信息显示，广州增芯科技有限公司取得一项名为“一种沉积工艺设备平台的传送腔室”的专利，授权公告号CN222961542U，申请日期为2024年06月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种沉积工艺设备平台的传送腔室，位于常压状态的前端模块和平台工艺腔的缓冲腔室之间；传送腔室内设置至少两个晶圆操作台；晶圆操作台设置有下层晶圆承载台、上层晶圆承载架以及位于上层晶圆承载架和下层晶圆承载台之间的中空层；下层晶圆承载台上设置有若干导热柱、若干安装孔以及至少三个可升降柱；若干导热柱对应设置于若干安装孔内，略高出下层晶圆承载台主体平面，导热柱内设置至少一个贯通孔。

天眼查资料显示，广州增芯科技有限公司，成立于2025年，位于广州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本682000万人民币。通过天眼查大数据分析，广州增芯科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目36次，财产线索方面有商标信息53条，专利信息93条，此外企业还拥有行政许可167个。