《RWDE 晶圆机器人》核心特色

RWDE晶圆机器人采用上银直线电机（HIWIN直线导轨）驱动，结合先进的直驱电机传动设计，实现超高重复精度（±0.1mm），满足半导体行业对精密运动控制的需求。

产品亮点：

1. 高精度运动

搭载上银直线导轨（HIWIN导轨）或上银直线导轨（HIWIN直线导轨），确保平稳、低摩擦传动，长期保持精度稳定性。

2. 模块化功能扩展

可选配电翻模块，支持非径向取放功能，适应多样化晶圆处理需求，提升产线灵活性。

3. 可靠技术支撑

核心部件源自上银官网（HIWIN上银官网）认证产品，品质保障；更多技术参数可访问上银导轨官网或HIWIN直线导轨官网查询。

4. 行业适配性

适用于EFEM（设备前端模块）等半导体自动化场景，与上银直线电机无缝协作，优化晶圆传输效率。