苏州紫芯微电子申请高可靠性压力传感器制备专利，提高压力传感器可靠性

金融界2025年5月6日消息，国家知识产权局信息显示，苏州紫芯微电子有限公司申请一项名为“一种高可靠性压力传感器制备方法及压力传感器”的专利，公开号CN119911870A，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本公开的实施例提供一种高可靠性压力传感器制备方法及压力传感器，方法包括：提供P型硅衬底；采用外延工艺，在P型硅衬底的正面生长形成N型硅层；在N型硅层背离P型硅衬底的表面形成隔离层；采用外延工艺，在隔离层背离P型硅衬底的表面形成N型硅压阻层，N型硅压阻层具有压敏区；对N型硅压阻层进行蚀刻，在压敏区形成压敏电阻条，以及硅导线；在压敏电阻条表面形成覆盖压敏电阻条和硅导线的保护层；对保护层进行刻蚀，形成暴露硅导线的接触孔；在接触孔内形成与硅导线电连接的引线焊盘；在P型硅衬底的背面形成与压敏区位置对应的背腔；提供硅基底，并将硅基底键合于P型硅衬底的背面，以封装背腔；在硅基底上形成连通背腔的表压孔。

天眼查资料显示，苏州紫芯微电子有限公司，成立于2024年，位于苏州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州紫芯微电子有限公司财产线索方面有商标信息3条，专利信息8条。