南通半导体晶圆车间不锈钢加热盘加工厂

2025-02-07ASPCMS社区 - fjmyhfvclm

南通半导体晶圆车间不锈钢加热盘加工厂家,承接各种非标晶圆车间设备加工,加工厂占地面积为2.5万+平方米,晶圆加热盘采用晶圆矩阵布局设计,能够实现对多个晶圆的同时均匀加热,确保高效,精确的温控,用于晶圆加工,热处理,涂布和退火等工艺,整个加工过程严格质检,加工产品均通过ISO9001质量认证体系,欢迎各大商家前来咨询

加工设备:光纤激光切割机,数控折弯机,翻边机,压铆机,攻丝机,冲床,剪床,摇臂钻床,半自动锯床,种钉机,自动点胶机,激光焊接机,氩弧焊接机,二保焊接机,机器人焊接机,碰焊机,铝焊机,龙门铣床(3米,4米,6米,8米),镗床,CNC加工中心,五轴加工中心,2.5米立式车床,抛丸机,抛光机,磷化喷涂流水线,超大烘烤房,三坐标等精密检测仪器

功能作用

精确控温:为半导体晶圆的光刻、化学气相沉积、退火等工艺提供精确稳定的温度环境,确保工艺的一致性和重复性,提高产品良率。

热量均匀分布:使晶圆表面获得均匀的热量,防止因温度不均导致的材料沉积不均匀、光刻图案变形等问题,保证晶圆各部分的性能一致。

工艺支持:满足不同工艺对温度的特定要求,如在退火工艺中帮助消除晶圆内部应力,在沉积工艺中促进化学反应或物理吸附等。

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