朗姆研究公司取得针对多重图案化工艺使用多区加热衬底支撑件的修整与沉积轮廓控制专利

金融界2025年5月9日消息，国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司取得一项名为“针对多重图案化工艺使用多区加热衬底支撑件的修整与沉积轮廓控制”的专利，授权公告号CN113678237B，申请日期为2025年2月。